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  技术文章
 

派克钢瓶接头、高频阀、摆动气缸产品介绍

点击次数:968 更新时间:2020-07-01

半导体行业用特种气体品种多、质量要求高、用量少,大部分为易燃性、毒性或腐蚀性气体。这类气体在储存、输送及使用过程中,对设备部件的安全性、可靠性要求更高。

1、派克CGA DISS钢瓶接头:
派克汉尼汾旗下的CGA DISS钢瓶接头采用316L不锈钢材质,内牙螺母的螺纹表面做镀银处理,增加润滑性,使其在高扭矩下不被锁死。钢瓶接头本体部分经EP电抛光处理,减少颗粒物的产生。
 
2、VA01高频阀系列产品

VA01高频阀系列产品响应快速、工作稳定,响应速度可快至2ms,大大提高生产节拍;
采用专业的密封材料和设计,内泄漏量低,性能更稳定,寿命更长,可达5千万次切换寿命;
发尘量低、无润滑油,符合 晶片级纯净度及可靠性的要求,生产更可靠,能有效提高客户的产品质量,适用于电子半导体行业所需的洁净室环境。

此外,产品尺寸小、重量轻、流量大,还可集成针阀以控制真空流量 。该系列产品能够利用集成式真空系统对气体进行高速、精准地抓取与释放(其中VA01RDP33集成了产生真空和破坏真空两个功能),广泛用于集成电路、硅晶片、贴片机等应用。

此外,垫片经硬度控制及抛光处理,Ra值在10左右。这些工艺使垫片在密封时,在额定扭矩下变形而不损伤接头。作为早参与CGA DISS标准设计和推广的成员,派克汉尼汾从材质、工艺、设计等方面让产品更加易用、安全和可靠,降低潜在危险。

 

3、PRN摆动气缸
PRN摆动气缸采用KURODA轴向密封件设计,减少漏气量,运行更平稳,寿命更长;
叶片轴经过特殊热加工,可增强转矩,扭矩更大,不易折断, 启动压力低,适应更广泛的应用;
可添加缓冲装置CRN之类的配件,以提高转速和负载。

PRN标准型产品包括PRNA1,3,10,20等九个类型供用户选择,摆动叶片包括单叶片和双叶片两种类型,有多个角度可供调节,符合晶片切割、绕线机等半导体生产设备的应用需求。
 

 

 
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